常用线）

  分子泵（TMP） 构造：电机驱动的非常快速地旋转叶片,泵壁上固定的固定叶片。 原理：每分钟旋转数万次的非常快速地旋转叶片撞击气体分子,被撞击的气体分子碰撞到固定叶片ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ又被弹到下一个旋转叶片上,最终 被送到排气口。旋转叶片和固定叶片的方向相反,使分子难于逆行。这种排气方式,排气速度不因气体种类而变。 特征： 不用油,工作环境清洁,可到达10-10Pa的真空度。排气速度不受气体种类影响。构造复杂,价格昂贵,非常快速地旋转,要注意安装要 求。有振动。需要和其它初段排气泵组合。

  离子泵 构造：强磁铁,蜂窝状阳极,钛(Ti)阴极。 原理：通过溅射现象,使Ti离子化,Ti离子化学反应活性高。和气体分子反应之后生成化合物。 一部分气体分子也离子化之后向阴极加速,使阴极的Ti被溅射后,一部分离子进入阴极内部。 特征： 能达到超高线Pa) 需要和其它初段排气泵组合。

  有一定寿命。 Ti升华泵 构造：加热电阻丝、Ti材料(线或球)。 原理：通过加热电阻丝,使Ti升华。因为Ti化学反应活性高、立刻和周围的气体分子反应而生成稳定的化合物。反应生成的化合 物吸附在真空腔内壁上、进而达到降低气压的效果。如果升华后的Ti吸附在较大面积的内壁上、则产生巨大的排气速度。比如 1平方米的面积上吸附Ti原子的线升/s的排气速度。在压力较高时(10-3Pa)、排气速度大大降 低。因此就需要和其他排气泵组合使用。

  低温泵 构造：冷冻机、液态He。 原理：利用气体在超低温表面凝结而达到排气效果。特征： 能达到超高线Pa) 排气速度快。

  常用线) 真空泵要求从密封容器中高速高效地排除气体，以达到产生,改善和维持真空的目的。其工作原理可大致分为机械,物理和化学方 式。根据要达到的线种以上的真空泵相组合。 代表的线：Ti升华泵 5：低温泵 曾经被普遍的使用的油扩散泵因为存在油气蒸发的问题、现在已经很少被采用。 旋转式机械泵 以油封式真空泵为例加以介绍。 构造：偏心轴转子,固定翼,油。旋转动力是电机。 原理：转子紧贴泵壁内侧旋转。固定翼随之下移,转子到达油面后,空气被压缩,压缩后的空气压力高于外界大气压之后从排气口 排出。 特征： 排气能力由压缩比决定,可达0.1Pa程度。简单易操作。可以从大气压状态下启动。油要蒸发。 为了尽最大可能避免油或其它液体进入真空腔内,不用油或其它液体的干式真 空泵正在成为主要的旋转式机械泵。